高純氣體管道工程指針對易燃易爆、毒腐性氣體進(jìn)行安全輸送的管道設(shè)計方案。包含特氣房設(shè)計、管道設(shè)計、終端分配設(shè)計、氣體安全偵測系統(tǒng)設(shè)計等，te一般在實(shí)驗(yàn)室、潔凈車間等設(shè)計比較多。
高純氣體管道工程部分盤點(diǎn)
1.氣房設(shè)計
根據(jù)氣體性質(zhì)的不同，易燃易爆類氣體如硅烷、磷烷、乙炔、氫氣等氣體需放置在易燃易爆氣瓶間，毒腐性氣體如氨氣、笑氣等需放置在毒腐性氣瓶間。惰性氣體又是單獨(dú)放置，或根據(jù)現(xiàn)場情況非氧化性氣體可以放置在特氣房內(nèi)。整個氣房常年排風(fēng)，有新風(fēng)進(jìn)入。電氣管線必須防爆，同時具備火焰探測、消防噴淋、震動監(jiān)測、泄露偵測、煙霧偵測、負(fù)壓偵測等功能。所有功能必須通過軟硬件整合至中控室聯(lián)動。
特氣必須使用防爆特氣柜(GC)放置鋼瓶，整個氣柜也包含有測漏保壓、抽真空、吹掃、負(fù)壓偵測等功能。液相氣體同時還要具備鋼瓶稱重、伴熱等功能。
2.管道設(shè)計
根據(jù)氣體性質(zhì)，自燃性氣體如硅烷、磷烷等必須使用雙套管輸送。即工藝管線采用1/4’’管路輸送，在其外部再套一個1/2’’的外管進(jìn)行防護(hù)。工藝管路必須采用SUS316L，EP級拋光的潔凈管，外套管也需是SUS316LB*或AP的不銹鋼管道。管道全部采用美國世偉洛克全自動焊接，禁止采用卡套、手工焊等連接方式。內(nèi)外管均需通過氦檢測試，外管同時需要加裝壓力傳感器監(jiān)測實(shí)時負(fù)壓。
3.終端設(shè)計
特氣從GC經(jīng)過管道一對一進(jìn)入VMB(氣體閥門分配柜)，所有VMB又必須具備二級調(diào)壓、壓力偵測、吹掃、抽真空、泄露偵測、排放等功能。VMB一般由二級調(diào)壓閥、單向閥、氣動膜閥、手動膜閥、真空發(fā)生器等組成，全部閥門管件接頭必須采購至*的供應(yīng)商。
4.安全偵測系統(tǒng)設(shè)計
氣體安全偵測系統(tǒng)是整個特氣系統(tǒng)的生命安全系統(tǒng)。它是基于氣房及設(shè)備、管道、終端及設(shè)備等的一整套偵測系統(tǒng)，包含有：氣體泄露偵測、環(huán)境偵測、煙感、火焰、震動報警等。
更新時間：2025-01-17 
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